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フォトリソグラフィー【Photo Lithography】
紫外線や可視光を用いて、フォトマスクのパターンを基板に塗布されたフォトレジストに露光し、現像、エッチング処理してパターン形成する方法。写真蝕刻ともいい、密着露光と投影露光方式がある。
[[NECエレクトロニクス>http://www.necel.com/ja/fow/index.html]]
https://seesaawiki.jp/w/mizunobara/d/%a5%d5%a5%a9%... - 2006年10月27日更新
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