phase-modulation ellipsometry

分野：光学

位相変調器型エリプソメトリー。略して PME とも言う。

参考：
「分光エリプソメトリー」藤原裕之著
http://www.jawjapan.com/compensators.html
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2006年03月08日(水) 21:03:54 Modified by yushinhozumi




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