フォトリソグラフィー【Photo Lithography】
紫外線や可視光を用いて、フォトマスクのパターンを基板に塗布されたフォトレジストに露光し、現像、エッチング処理してパターン形成する方法。写真蝕刻ともいい、密着露光と投影露光方式がある。
NECエレクトロニクス
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2006年10月27日(金) 18:09:15 Modified by mizunobara
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